EDXS

Енергодисперсійна рентгенівська спектроскопія (EDXS) – це метод хімічного мікроаналізу, що використовується в поєднанні з скануючої електронної мікроскопією (SEM). Метод EDXS виявляє рентгенівське випромінювання, що випускається зразком при бомбардуванні електронним пучком, для характеристики елементного складу аналізованого обсягу. Можуть бути проаналізовані елементи або фази розміром до 1 мкм.

Коли зразок бомбардируется електронним пучком SEM, електрони викидаються з атомів, що складають поверхню зразка. Отримані електронні порожнечі заповнені електронами з більш високого стану, і рентгенівське випромінювання випускається, щоб врівноважити різниця енергій між станами двох електронів. Енергія рентгенівського випромінювання характерна для елемента, з якого вона була излучена.

Детектор рентгенівських променів EDXS вимірює відносну кількість випускаються променів в залежності від їх енергії. Детектор зазвичай являє собою твердотільне пристрій з кремнієвим коли той дрейфував літієм. Коли падаючий рентгенівський промінь потрапляє на детектор, він створює зарядний імпульс, що пропорційний енергії рентгенівського випромінювання. Імпульс заряду перетворюється в імпульс напруги (який залишається пропорційним енергії рентгенівського випромінювання) за допомогою чутливого до заряду попереднього підсилювача. Потім сигнал відправляється в багатоканальний аналізатор, де імпульси сортуються по напрузі. Енергія, визначена з вимірювання напруги для кожного падаючого рентгенівського випромінювання, відправляється на комп’ютер для відображення та подальшої оцінки даних. Спектр енергії рентгенівських променів в залежності від рахунку оцінюється для визначення елементного складу обсягу вибірки.